中國電子元件行業(yè)協(xié)會(huì )
China Electronic Components Association
聯(lián)系人：李鋒
銀行匯款
觸覺(jué)傳感器可以將環(huán)境刺激轉化為電信號來(lái)感知和量化環(huán)境信息，顯示出巨大的應用前景。仿生機器人和可穿戴設備向智能化方向發(fā)展，對觸覺(jué)傳感器陣列的性能提出了很高的要求。
本文介紹了近年來(lái)觸覺(jué)傳感器陣列的發(fā)展現狀，詳細討論了圖案陣列的主要制備方法，包括絲網(wǎng)印刷、3D打印、激光微加工和紡織技術(shù)，并從結構設計和電路設計兩方面系統地介紹了柔性高密度傳感器陣列串擾的優(yōu)化策略。為了提高其適用性，簡(jiǎn)要介紹了一種可伸縮自供電的先進(jìn)傳感通用集成方案。然后，借助機器學(xué)習和神經(jīng)網(wǎng)絡(luò )，深入挖掘觸覺(jué)采集信號中所蘊含的信息，豐富應用場(chǎng)景。
高分辨率陣列制備技術(shù)
對于指尖等受體分布豐富的區域，其空間分辨率可達1 mm左右，響應時(shí)間約為15 ms，在盲文識別、物體輪廓精確檢測等應用場(chǎng)景中發(fā)揮著(zhù)重要作用。目前，觸覺(jué)傳感器的圖案加工方法主要有絲網(wǎng)印刷、3D打印、激光微加工和紡織技術(shù)。
絲網(wǎng)印刷
目前最高印刷精度可達100 μm左右，技術(shù)相對成熟，工藝簡(jiǎn)單、效率高、成本低、適合批量生產(chǎn)。主要用于制造觸覺(jué)傳感器陣列中快速制備圖案電極。研究人員提出了一種基于絲網(wǎng)印刷方法的柔性透明觸覺(jué)傳感器陣列的制造工藝，使用圖案聚酯膠帶作為絲網(wǎng)印刷的掩膜，銀納米線(xiàn)作為電極材料。所制備的觸覺(jué)傳感器陣列的單元間距為5mm，每個(gè)單元與外部導線(xiàn)連接的線(xiàn)狀電極的寬度僅為1mm。
3D打印
易于操作，并且能夠根據需要直接打印具有微觀(guān)結構的電極或敏感材料，還可以用于模具定制，并對凝膠或未固化樹(shù)脂等材料系統具有輔助成型作用。目前有研究使用3D打印技術(shù)制作了由8 × 8傳感器單元和蛇形電極線(xiàn)組成的具有設計圖案的模板。將凝膠混合物倒入模板中，在室溫下風(fēng)干后，可從模板上剝離出柔軟且具有彈性的圖案彈性體，以制備摩擦電觸覺(jué)傳感器陣列。
激光顯微加工
激光微加工技術(shù)無(wú)掩模，效率高，適合批量生產(chǎn)，有助于制備高靈敏度、高空間分辨率和高可靠性的觸覺(jué)傳感器。激光可以在襯底材料中誘導化學(xué)反應以產(chǎn)生所需的敏感材料。這種方法允許直接在基板上制備具有特定圖案的敏感材料，消除了諸如轉移材料和圖案處理等繁瑣步驟。有研究采用激光直寫(xiě)技術(shù)，開(kāi)發(fā)了一種柔性的高分辨率摩擦電傳感陣列。制作分辨率為8 dpi的16 × 16陣列，實(shí)現多點(diǎn)觸摸、滑動(dòng)和跟蹤手指運動(dòng)軌跡的實(shí)時(shí)可視化。
紡織技術(shù)
通過(guò)紡織纖維中嵌入電極和敏感材料，可以獲得具有觸覺(jué)反應的功能性紡織材料，具有耐洗性、透氣性、超拉伸性和堅固性等優(yōu)點(diǎn)，比其他制造方法更適合用于可穿戴設備。還可以將傳感纖維與傳統服裝相結合，制造出具有良好舒適性和透氣性的智能傳感服裝。但目前智能紡織品普遍存在制備工藝復雜、靈敏度低等問(wèn)題，難以在觸覺(jué)傳感系統中實(shí)現廣泛應用。
抗串擾策略
傳感器結構優(yōu)化
為了減少非壓感單元的變形，一種可行的解決方案是通過(guò)合理的布局設計優(yōu)化感測節點(diǎn)的密度，使感測單元在空間位置上相對獨立。研究人員在大面積(2.2 cm × 2.2 cm)上設計了基于mos2的超薄保形觸覺(jué)傳感器4 × 4陣列，每個(gè)單元格為2.10 mm × 1.85 mm。該傳感器傳感單元的合理分布在很大程度上緩解了串擾現象。
另一種抑制相鄰傳感單元應力變形的方法是增加機械隔離結構，如溝槽或支撐結構。研究通過(guò)仿真和實(shí)驗證明，通過(guò)在10 × 10觸覺(jué)傳感器陣列的每個(gè)單元之間設置間隔，可以有效抑制串擾，并大大提高空間分辨率。
電路設計改進(jìn)
目前最廣泛應用的電壓反饋法和零電位法。電壓反饋方法通過(guò)引入反饋回路來(lái)抵消串擾，使未掃描的行和列上的未掃描單元保持在反饋電壓提供的相同電位差。零電位法是通過(guò)驅動(dòng)運放連接虛擬地或通過(guò)多路復用器直接接地，使所有非掃描驅動(dòng)電極處于零電位。有研究提出并實(shí)現了一種基于零電位串擾抑制的改進(jìn)電路，采用譯碼晶體管掃描架構，使該方法適用于大型傳感陣列。零電位法雖然電路結構比較復雜，但能達到較高的檢測精度。
多功能觸覺(jué)傳感器及集成策略
通過(guò)結構設計，將幾種具有不同傳感功能的材料集成在一起，是制造多模態(tài)觸覺(jué)傳感器陣列的一種方法。研究報道了一種柔性和可拉伸的多功能傳感器陣列，其布局結合了分布式和堆疊式，從而實(shí)現了對溫度、濕度、紫外線(xiàn)、磁力、應變、壓力和鄰近刺激的實(shí)時(shí)同時(shí)監測。研究人員通過(guò)炭黑-聚二甲基硅氧烷復合材料作為多模態(tài)傳感材料，制備了對應變、壓力、彎曲和溫度刺激具有高靈敏度和快速響應的交叉反應式傳感矩陣。在詞袋模型的基礎上，采用機器學(xué)習算法區分不同的刺激。
觸覺(jué)信息的深度挖掘與應用
觸覺(jué)傳感器提供的信息，可以通過(guò)機器學(xué)習和神經(jīng)網(wǎng)絡(luò )，可以深入挖掘觸覺(jué)采集信號中嵌入的信息，如識別物體的類(lèi)型和形狀以及接觸面的振動(dòng)頻率，監測和分析人體健康狀況，還可應用于實(shí)時(shí)分析人體運動(dòng)和抓握力，獲得詳細的人體運動(dòng)信息等。在視覺(jué)感知上，有研究人員通過(guò)眼電術(shù)和觸覺(jué)感知技術(shù)開(kāi)發(fā)了一種協(xié)作界面，用于快速準確的3D人機交互。
圖文解析
圖2 使用絲網(wǎng)印刷技術(shù)制備觸覺(jué)傳感器陣列中快速制備圖案電極
圖3 使用3D打印技術(shù)制備觸覺(jué)傳感器中具有微觀(guān)結構的電極或敏感材料
圖4 激光顯微加工技術(shù)用于圖像化加工和微結構制造
總結與前瞻
觸覺(jué)傳感器的應用仍然面臨著(zhù)巨大的挑戰。首先，觸覺(jué)傳感器陣列同時(shí)獲得的信號包含了壓力、剪切力、溫度等豐富的信息。尋找有效的解耦干擾和串擾信號是十分必要的。其次，使用環(huán)境中的溫度、濕度、振動(dòng)等多種物理場(chǎng)因素通常會(huì )導致觸覺(jué)傳感器的性能下降，從而影響觸覺(jué)傳感器的檢測精度。因此，如何提高觸覺(jué)傳感器在復雜應用條件下的長(cháng)期檢測穩定性是一個(gè)迫切需要解決的問(wèn)題。第三，觸覺(jué)傳感器已經(jīng)可以用全柔性材料制造，但用于數據采集和傳輸的相關(guān)電路仍然由傳統的剛性材料制成，這將影響觸覺(jué)傳感系統的整體可穿戴性。因此，開(kāi)發(fā)柔性和可拉伸電路對于柔性觸覺(jué)傳感器在可穿戴電子產(chǎn)品、智能機器人和人機交互系統等不同領(lǐng)域的應用也是非常必要的。
