中國電子元件行業(yè)協(xié)會(huì )
China Electronic Components Association
面向大批量、低成本市場(chǎng)開(kāi)發(fā)MEMS傳感技術(shù)的先驅Omnitron Sensors，近日宣布將與賽微電子旗下Silex Microsystems合作量產(chǎn)用于激光雷達（LiDAR）的MEMS掃描鏡。
Omnitron Sensors聯(lián)合創(chuàng )始人、首席執行官（CEO）Eric Aguilar表示：“我們注意到汽車(chē)高級駕駛輔助系統（ADAS）、無(wú)人機及其他機器人系統制造商對低成本、高可靠的激光雷達有著(zhù)巨大的需求。我們選擇了世界上最大的MEMS純代工廠(chǎng)Silex Microsystems，表明我們已做好市場(chǎng)準備交付第一批MEMS掃描鏡，該掃描鏡能夠滿(mǎn)足不同應用中激光雷達的精度、可靠性、尺寸、成本和體積要求?！?/p>
Omnitron Sensors開(kāi)發(fā)的概念驗證MEMS掃描鏡
據Omnitron Sensors稱(chēng)，其MEMS掃描鏡可比當前遠程激光雷達應用的其他MEMS掃描鏡提供2~3倍的視場(chǎng)（FoV），其步進(jìn)掃描鏡專(zhuān)為惡劣的高振動(dòng)汽車(chē)環(huán)境及無(wú)人機應用而設計，其它供應商生產(chǎn)的激光雷達旋轉鏡無(wú)法滿(mǎn)足這些應用的嚴苛需求。
Omnitron Sensors的方案構建了一種靜電馬達，它可以移動(dòng)MEMS反射鏡，并獲得比目前市場(chǎng)上同類(lèi)產(chǎn)品更大的單位面積力。Aguilar表示，Omnitron Sensors利用一種3D MEMS拓撲實(shí)現了這一目標，不過(guò)，更重要的是其可制造性。為了確保工藝簡(jiǎn)單、可制造，Aguilar表示他們的MEMS掃描鏡沒(méi)有使用金屬彈簧，而是使用了硅基彈簧，它們的硬度是原來(lái)的一千倍，而且不會(huì )磨損。
解決MEMS制造挑戰
MEMS器件制造挑戰眾所周知。由于MEMS器件尺寸、可靠性、耐用性和可重復性方面的問(wèn)題，以及每種新型MEMS器件工藝技術(shù)的獨特性，使得MEMS制造成本高昂，從設計到交付的周期緩慢。Omnitron Sensors的核心IP可以解決這些挑戰。作為MEMS的一種新拓撲結構，Omnitron Sensors的IP重新設計了制造工藝，并通過(guò)新的封裝技術(shù)為其提供支持。這加快了各種小型、低成本、精密MEMS器件（從掃描鏡、慣性測量單元到麥克風(fēng)、壓力傳感器和開(kāi)關(guān)等）的批量生產(chǎn)。
Aguilar說(shuō)：“Omnitron Sensors的MEMS新型拓撲結構，巧妙地重新設計了硅工藝步驟和新的封裝方法，是微電子行業(yè)向前邁出的重要一步。它大大降低了迄今為止限制MEMS增長(cháng)的制造復雜性。通過(guò)利用Silex Microsystems晶圓廠(chǎng)已有的標準設備和工藝，Omnitron Sensors為快速、大批量交付穩健、可靠且價(jià)格合理的MEMS器件掃清了障礙?！?/p>
關(guān)于Omnitron Sensors
Omnitron Sensors由MEMS行業(yè)的核心創(chuàng )新團隊成立于2019年，它發(fā)明了一種新型MEMS拓撲結構，可以提高器件性能和可靠性，簡(jiǎn)化組裝，為價(jià)格敏感的大批量市場(chǎng)生產(chǎn)MEMS傳感器。
