4月11日,江蘇南京南智先進(jìn)光電集成技術(shù)研究院(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“南智光電”)鈮酸鋰光子芯片產(chǎn)線(xiàn)啟動(dòng)儀式在新區舉行。
該項目配備3.5億元規模設備、5000m2超凈間,覆蓋了整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈的核心工藝,月產(chǎn)能一千片晶圓。本次啟用的產(chǎn)線(xiàn)具備了光刻、刻蝕、鍍膜、研拋、濕法等系列核心技術(shù)工藝,這意味著(zhù)國內薄膜鈮酸鋰光子芯片產(chǎn)業(yè)化取得重要進(jìn)展。
據了解,2018年,在南京大學(xué)和南京江北新區支持下,現中國科學(xué)院院士、江蘇省光電技術(shù)創(chuàng )新中心主任祝世寧帶領(lǐng)團隊在新區產(chǎn)業(yè)技術(shù)研創(chuàng )園落地南智光電,并負責建設運營(yíng)光電公共技術(shù)平臺,瞄準下一代光電芯片技術(shù)在基礎材料、器件工藝等方面的需求,開(kāi)展研發(fā)工作。
今年初,南智光電啟動(dòng)平臺二期建設,目前二期平臺已經(jīng)具備一定量產(chǎn)能力,月前才剛剛下線(xiàn)一批8英寸生物基因檢測芯片,相關(guān)性能指標全部符合客戶(hù)定制要求。祝世寧表示,未來(lái)以鈮酸鋰光子芯片產(chǎn)線(xiàn)為基礎,南智光電將能夠面向國內外光電企業(yè)提供芯片研發(fā)及流片支持。