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中科微感MEMS氣體傳感器量產(chǎn)技術(shù)再次突破瓶頸
來(lái)源：MEMS
瀏覽次數：3370 發(fā)布時(shí)間：2024-05-09
中科微感金屬氧化物基MEMS氣體傳感器量產(chǎn)技術(shù)再次突破瓶頸。以CM-A107S氫氣傳感器為例，晶圓級萬(wàn)顆批量生產(chǎn)，單顆LGA封裝的MEMS氫氣傳感器初始阻值和響應值一致性偏差逼近5%，良品率接近98%。本量產(chǎn)技術(shù)的突破，為人工智能嗅覺(jué)傳感器的普遍應用推廣打下堅實(shí)基礎，為未來(lái)氣味數字化應用提供了標準化和低成本的硬件解決方案。
隨機抽取70顆CM-A107S氫氣傳感器（LGA封裝），進(jìn)行空氣中每顆阻值和500 ppm氫氣響應值測試統計，結果如下圖所示。
