中國電子元件行業(yè)協(xié)會(huì )
China Electronic Components Association
12月30日，寧波首個(gè)高能級微納平臺——甬江實(shí)驗室信息材料與微納器件制備平臺（簡(jiǎn)稱(chēng)“微納平臺”）正式投用。這是甬江實(shí)驗室迄今為止投入最大的平臺，致力打造成支撐前沿科技創(chuàng )新、引領(lǐng)微納制造共性技術(shù)、鏈接并賦能產(chǎn)研生態(tài)的開(kāi)放共享科創(chuàng )服務(wù)平臺。
甬江實(shí)驗室主任助理、微納平臺負責人鐘飛博士表示：“先進(jìn)封裝是全球光電集成產(chǎn)業(yè)超越摩爾定律、進(jìn)一步提升集成性能的主要手段，究其本質(zhì)是異質(zhì)異構集成技術(shù)，而高能級微納平臺正是實(shí)現這一技術(shù)不可或缺的基礎支撐?！?/p>
??微納平臺位于甬江實(shí)驗室創(chuàng )園，擁有一流的基礎設施、先進(jìn)的制程工藝，現已建成6英寸研發(fā)線(xiàn)和8英寸驗證線(xiàn)各一條，配備了165臺（套）高端精密設備。此次投用的是微納平臺6英寸研發(fā)線(xiàn)，8英寸驗證線(xiàn)有望在2025年投用。在光電子集成領(lǐng)域，受制于設備成本高昂，企業(yè)若進(jìn)行重資產(chǎn)投入，一旦研發(fā)失敗將遭受重大損失。針對這一產(chǎn)業(yè)困境，微納平臺將定位于幫助企業(yè)將想法轉化為樣品，提供高工業(yè)參考價(jià)值的系統解決方案，進(jìn)而加快從樣品到商品的進(jìn)程。簡(jiǎn)而言之，便是通過(guò)設備開(kāi)放共享，降低企業(yè)的投入成本。
目前，甬江實(shí)驗室微納平臺建立了完善的標準化工藝庫，可滿(mǎn)足不同芯片的研發(fā)需求，并開(kāi)放給企業(yè)使用。平臺技術(shù)人員也可指導企業(yè)，開(kāi)發(fā)其所需的新工藝。鐘飛博士表示：“企業(yè)可以在平臺上完善工藝、提升良率，確保達到市場(chǎng)認可的成熟度之后，再投入產(chǎn)業(yè)化?！?/p>
??將“鏈路”拉長(cháng)，微納平臺有更大的“追求”——跨越學(xué)術(shù)界和產(chǎn)業(yè)界之間的“死亡之谷”。微納平臺將選擇有產(chǎn)業(yè)化前景的共性核心技術(shù)，與高校、企業(yè)聯(lián)合開(kāi)發(fā)，共同完成從理論到技術(shù)研究、從技術(shù)研究到樣品、最終實(shí)現量產(chǎn)的全鏈過(guò)程。
此外，微納平臺還支撐科研團隊獲批兩項2024國家重點(diǎn)研發(fā)計劃，其中包括甬江實(shí)驗室牽頭的“大尺寸超高純超厚立方相碳化硅材料制備關(guān)鍵技術(shù)及應用”。同時(shí)，已開(kāi)發(fā)高深寬比的介質(zhì)刻蝕等國際領(lǐng)先工藝。力爭到2031年，微納平臺將建成有影響力的泛集成電路領(lǐng)域全鏈條研發(fā)與驗證平臺。
