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        9月30日電子科技大學(xué)發(fā)布消息稱(chēng)，由該校牽頭申報的國家重點(diǎn)研發(fā)計劃“戰略性先進(jìn)電子材料”專(zhuān)項項目“高性能無(wú)源敏感薄膜材料Si基異質(zhì)異構集成方法及傳感器芯片研發(fā)”獲批立項。該項目由電子科大微電子與固體電子學(xué)院張萬(wàn)里教授作為項目負責人，聯(lián)合中國電科26所、中國電科24所，中科院新疆理化所、中科院上海微系統所、西安微電子所、華中科技大學(xué)、蘇州大學(xué)以及貴州雅光電子等10余家科研院所、大學(xué)、企業(yè)共同研制。據悉，這是該校牽頭獲得的首個(gè)上億元的國家重點(diǎn)研發(fā)計劃項目，項目總預算達11705萬(wàn)元。

       據了解，該項目從傳感器芯片領(lǐng)域的關(guān)鍵科學(xué)問(wèn)題和重大共性關(guān)鍵技術(shù)出發(fā)，研究高性能無(wú)源敏感薄膜材料的制備方法和傳感器與集成電路的集成技術(shù)，實(shí)現硅基晶圓上無(wú)源敏感薄膜的可控制備和傳感器芯片的集成加工，研制出磁阻、紅外氣體、海洋測溫、液體黏度等硅基傳感器芯片，并在工業(yè)控制、海洋水文、安全生產(chǎn)等領(lǐng)域示范應用?！霸擁椖康牧㈨?，體現了我校在電子薄膜材料及器件集成技術(shù)等領(lǐng)域的能力和實(shí)力，將進(jìn)一步提升我校材料、器件研究水平，打通‘材料制備－器件集成－系統應用’全鏈條?！睋撔Ｐ麄鞑肯嚓P(guān)負責人介紹，該研究成果將在促進(jìn)傳感器產(chǎn)品升級換代，助推新興產(chǎn)業(yè)、推動(dòng)軍民融合和培養電子材料與器件復合人才等方面產(chǎn)生顯著(zhù)效益。