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國家智能傳感器創(chuàng )新中心發(fā)布消息稱(chēng)，6月30日，由國家智能傳感器創(chuàng )新中心（簡(jiǎn)稱(chēng)“創(chuàng )新中心”）建設的國內首條12英寸先進(jìn)傳感器中試線(xiàn)成功通線(xiàn)。

圖片來(lái)源：國家智能傳感器創(chuàng )新中心

該中試線(xiàn)以國產(chǎn)設備為主，具備晶圓鍵合、晶圓減薄、干濕法刻蝕、物理和化學(xué)氣相沉積、原子層沉積、化學(xué)機械研磨、濕法清洗、自動(dòng)化量測等先進(jìn)傳感器和晶圓級3D集成技術(shù)的核心工藝能力，同時(shí)為國產(chǎn)裝備提供驗證平臺，加速先進(jìn)傳感器產(chǎn)業(yè)鏈國產(chǎn)化，實(shí)現自主可控。

創(chuàng )新中心將在12英寸中試線(xiàn)持續開(kāi)發(fā)新材料、新工藝、新器件和新集成等關(guān)鍵共性技術(shù)，重點(diǎn)突破光學(xué)、聲學(xué)、力學(xué)、生物等先進(jìn)傳感器的核心工藝，并推動(dòng)相關(guān)產(chǎn)品及應用的產(chǎn)業(yè)化。

12英寸中試線(xiàn)位于上海智能傳感器產(chǎn)業(yè)園內，產(chǎn)業(yè)園以智能傳感器為核心，以創(chuàng )新平臺和龍頭企業(yè)為支撐，力爭將上海嘉定打造成國內傳感器領(lǐng)域產(chǎn)業(yè)高地。