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近日，南京宙訊微電子科技有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“宙訊微電子”）正式對外發(fā)布壓電MEMS代工平臺，平臺專(zhuān)注于壓電MEMS領(lǐng)域新器件的研發(fā)和量產(chǎn)服務(wù)。該壓電MEMS平臺立足微納加工技術(shù)前沿及半導體器件產(chǎn)業(yè)發(fā)展趨勢，積極布局先進(jìn)微電子器件、聲電器件、MEMS器件、RF前端器件等領(lǐng)域，以滿(mǎn)足電子信息、物聯(lián)網(wǎng)、小基站、北斗等技術(shù)發(fā)展對于微納加工的需求，現已建成集先進(jìn)工藝開(kāi)發(fā)、器件工藝制備及定制化產(chǎn)品開(kāi)發(fā)量產(chǎn)為一體的綜合性平臺，實(shí)現了新材料從微米到納米級別的結構與器件的可控開(kāi)發(fā)、加工與測試，可為客戶(hù)提供個(gè)性化的工藝技術(shù)服務(wù)及器件解決方案。

研究方向與成就

宙訊微電子壓電MEMS工藝平臺擁有聲電器件、MEMS器件、微型揚聲器及微型聲學(xué)傳感器等領(lǐng)域領(lǐng)先的工藝研發(fā)能力。

本平臺作為國內領(lǐng)先的射頻聲濾波器SAW/BAW研發(fā)量產(chǎn)平臺，自2021年7月正式啟動(dòng)試運行以來(lái)，已累計為多家客戶(hù)提供工藝開(kāi)發(fā)或量產(chǎn)服務(wù)，累計開(kāi)發(fā)產(chǎn)品50余款，出貨量超2億顆。本壓電MEMS工藝平臺已獲得ISO 9001質(zhì)量體系認證，確保交付的產(chǎn)品達到高的質(zhì)量水準。同時(shí)，本平臺擁有完善的客戶(hù)知識產(chǎn)權信息保護體系，使客戶(hù)的商業(yè)機密得到充分保護。

壓電微機械超聲換能器

壓電式MEMS微鏡

壓電式MEMS揚聲器

壓電式能量收集器

壓電驅動(dòng)MEMS開(kāi)關(guān)

先進(jìn)的平臺配置

平臺依據工藝特點(diǎn)和功能需求，細分為光刻、薄膜沉積、薄膜刻蝕、CMP化學(xué)機械平坦、晶圓測試、晶圓植球、晶圓劃片切割、芯片倒裝、塑封、編帶測試等多項關(guān)鍵部分。每個(gè)部分都擁有獨立的加工功能，不僅促進(jìn)了加工水平的深入發(fā)展，而且通過(guò)緊密的相互關(guān)聯(lián)和支持，形成了一個(gè)貫通的壓電MEMS工藝研發(fā)與加工的全鏈條平臺。

平臺設備選型滿(mǎn)足6英寸全自動(dòng)化晶圓量產(chǎn)需求，配備有全自動(dòng)步進(jìn)式曝光機、多種鍍膜形式（電子束蒸發(fā)、摻鈧AlN磁控濺射、化學(xué)氣相沉積、薄膜修頻系統）、多種刻蝕方法（金屬I(mǎi)CP刻蝕、介質(zhì)ICP刻蝕）以及多功能的表征設備，確保技術(shù)的先進(jìn)性和產(chǎn)品的高質(zhì)量。

技術(shù)服務(wù)與產(chǎn)學(xué)研合作

宙訊微電子壓電MEMS工藝平臺是全球為數不多的專(zhuān)注于研發(fā)MEMS器件開(kāi)發(fā)和量產(chǎn)的公共平臺，目前已為全球眾多研究團隊的項目實(shí)施提供微納加工技術(shù)服務(wù)和器件級全流程工藝整合開(kāi)發(fā)。我們與海內外多所高校、科研院所和高科技企業(yè)保持長(cháng)期合作，積極推進(jìn)產(chǎn)業(yè)技術(shù)服務(wù)，擴大與企業(yè)的產(chǎn)學(xué)研合作，利用平臺的設備、技術(shù)和人才資源優(yōu)勢，助力孵化項目和產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程。