中國電子元件行業(yè)協(xié)會(huì )
China Electronic Components Association
6月28日，廣州增芯科技有限公司12英寸先進(jìn)智能傳感器及特色工藝晶圓制造量產(chǎn)線(xiàn)項目（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“增芯項目”），在廣州增城開(kāi)發(fā)區舉行投產(chǎn)儀式，中國國內第一條12英寸MEMS量產(chǎn)線(xiàn)正式投產(chǎn)。
據官網(wǎng)介紹，增芯項目由廣州智能傳感器產(chǎn)業(yè)集團發(fā)起，于2021年4月成立，定位為國內第一家專(zhuān)業(yè)定制化12英寸傳感器晶圓廠(chǎng)，針對智能化、微型化等物聯(lián)網(wǎng)應用領(lǐng)域中的核心器件（如力學(xué)、聲學(xué)、微流控、生物等傳感器件及配套ASIC芯片等），打造集研發(fā)、量產(chǎn)制造、封測與應用一體的先進(jìn)制造平臺，產(chǎn)品包括三大類(lèi)工藝產(chǎn)品MEMS、BCD及邏輯工藝，對廣州市及廣東省的集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有重要意義。
對于建設計劃，增芯科技按照“一次規劃、分步實(shí)施”原則，計劃用5年時(shí)間投資370億元，在廣州市增城區建設兩座智能化晶圓廠(chǎng)，總產(chǎn)能達到12萬(wàn)片/月。
其中，增芯項目第一座晶圓廠(chǎng)（FAB1）分兩期，第一期產(chǎn)能2萬(wàn)片/月，總投資70億元；第二期產(chǎn)能4萬(wàn)片/月，總投資100億元；第二座晶圓廠(chǎng)（FAB2）為第三期，產(chǎn)能6萬(wàn)片/月，總投資200億元。第一座晶圓廠(chǎng)預計2026年滿(mǎn)產(chǎn)，第二座晶圓廠(chǎng)預計2027年滿(mǎn)產(chǎn)。
2022年12月14日，增芯項目一期第一階段項目正式開(kāi)工建設，批復投資70億元人民幣，建設月加工2萬(wàn)片12英寸的MEMS晶圓制造量產(chǎn)線(xiàn)。
6月28日，增芯項目投產(chǎn)活動(dòng)舉行，中國第一條12英寸MEMS量產(chǎn)線(xiàn)進(jìn)入生產(chǎn)階段，本次投產(chǎn)的為增芯項目第一座晶圓廠(chǎng)一期。此前相關(guān)報道顯示，增芯項目將在2024年實(shí)現“3月光刻機進(jìn)場(chǎng)、6月通線(xiàn)、9月產(chǎn)品下線(xiàn)、12月交付客戶(hù)”的階段性目標。
近年來(lái)，廣東省正在以智能傳感器、模擬芯片等產(chǎn)品為突破口帶動(dòng)半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展，大力推進(jìn)“強芯工程”建設，增芯項目的快速投產(chǎn)便是其中的縮影。
在傳感器技術(shù)朝著(zhù)微型化、集成化、模塊化、智能化方向演進(jìn)的當前，MEMS技術(shù)已成為一場(chǎng)必然的技術(shù)革命。
據Yole最新產(chǎn)業(yè)報道的數據顯示，2023年中國大陸僅生產(chǎn)了約9萬(wàn)片MEMS晶圓，遠遠不足與北美、歐洲、日本等地區110萬(wàn)、75萬(wàn)的產(chǎn)量相提并論。而中國卻有著(zhù)在消費電子、汽車(chē)、自動(dòng)駕駛、人工智能等產(chǎn)業(yè)市場(chǎng)下的廣袤的需求。在國內積極推進(jìn)產(chǎn)線(xiàn)建設的同時(shí)，也對本土MEMS企業(yè)在全球化市場(chǎng)中的競爭力提出更高要求。
