中國電子元件行業(yè)協(xié)會(huì )
China Electronic Components Association
目前, 國外在海洋傳感器的產(chǎn)業(yè)化方面已經(jīng)相當成熟, 產(chǎn)品性能也居于世界領(lǐng)先地位。國產(chǎn)海洋傳感器技術(shù)研究雖已經(jīng)取得了長(cháng)足進(jìn)步，部分指標甚至已達到國際先進(jìn)水平, 但其產(chǎn)品的批量生產(chǎn)幾乎空白, 業(yè)務(wù)應用更是嚴重依賴(lài)于進(jìn)口，進(jìn)口傳感器幾乎占據了我國海洋調查的“整壁江山”。
如何打破這一技術(shù)受困的局面，這家本土企業(yè)在三年多的潛心研發(fā)中迎來(lái)了重大進(jìn)展。
近日，廈門(mén)市敬微精密科技有限公司（簡(jiǎn)稱(chēng)：敬微精密）基于MEMS工藝技術(shù)研制的CYH1454606型深海用壓力傳感器（以下簡(jiǎn)稱(chēng)CYH1454606型深海傳感器）成功完成千米海試，各項指標比肩業(yè)界通用的進(jìn)口傳感器，實(shí)現卡脖子技術(shù)重大突破。
圖1 CYH1454606型深海壓力傳感器固定在CTD架子（左）、ROV兩側（右）的示意圖
通過(guò)搭載用戶(hù)單位廈門(mén)大學(xué)的“嘉庚”號科考船，敬微精密對CYH1454606型深海壓力傳感器開(kāi)展了為期一周的深海比測試驗（圖1）。嘉庚號是我國第一艘采用國外方案設計、國內轉化詳細設計，由高等學(xué)校擁有完全知識產(chǎn)權的海洋科學(xué)綜合考察船。該船達到世界同類(lèi)型科考船頂級水平，創(chuàng )下多項第一。
敬微精密深海比測對象為國際知名的溫鹽深剖面儀（CTD）。測試結果表明（圖2），CYH1454606型深海壓力傳感器測量的壓力值和變化趨勢與進(jìn)口傳感器高度一致，重合度超過(guò)99.9%。這一成績(jì)不僅證明了我們在深海壓力傳感器領(lǐng)域的技術(shù)實(shí)力，突破了“卡脖子”技術(shù)，也標志著(zhù)我國自主研發(fā)的深海壓力傳感器達到了國際先進(jìn)水平，未來(lái)有望在全球海洋技術(shù)競爭領(lǐng)域掀起新的波瀾。
這一創(chuàng )新的突破，展現了敬微精密帶頭人和一流研發(fā)團隊的卓越實(shí)力，也展現了他們對高端MEMS傳感器的執著(zhù)追求。據了解，公司創(chuàng )始人兼首席科學(xué)家、CTO系全球MEMS微加工領(lǐng)域頂尖專(zhuān)家，為50多家世界級科技企業(yè)提供精密微加工設備、微加工元件，代表性作品有SQUID量子超導傳感器、柱列陣元件、高深寬比的小孔系列、燃料電池開(kāi)發(fā)的元件等。
研發(fā)骨干來(lái)自德國哥廷根大學(xué)的理學(xué)博士、德國馬克斯普朗克學(xué)會(huì )博士后、日本國立共同研究機構分子科學(xué)研究所JSPS博士后、中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所碩士&博士、英國帝國理工的碩士以及英國諾丁漢大學(xué)、廈門(mén)大學(xué)和國內芯片傳感器企業(yè)高端人才等。
圖 2 數據測試結果和擬合結果（S1站位）
MEMS傳感器是智能設備的關(guān)鍵組件，作為國家政策大力支持的自主可控傳感器技術(shù)，在微型化、低功耗和高靈敏度等方面具有顯著(zhù)優(yōu)勢，能夠在復雜的海洋環(huán)境中穩定運行。通過(guò)不斷的研發(fā)投入和技術(shù)積累，敬微精密在基于MEMS技術(shù)制造的高端壓力芯片傳感器領(lǐng)域已經(jīng)形成了強大的技術(shù)壁壘和競爭優(yōu)勢，已在深空、深海等關(guān)鍵領(lǐng)域突破卡脖子技術(shù)。隨著(zhù)海洋環(huán)境監測產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展，敬微精密團隊相信，寬溫區、耐高壓、高精度、高可靠性的高端壓力芯片傳感器關(guān)鍵技術(shù)將發(fā)揮更大的作用，推動(dòng)我國海洋環(huán)境監測產(chǎn)業(yè)向更高水平邁進(jìn)。
廈門(mén)市敬微精密科技有限公司簡(jiǎn)介：
廈門(mén)市敬微精密科技有限公司是由德國、日本歸國科學(xué)家創(chuàng )辦成立的企業(yè)，“雙百計劃”領(lǐng)軍型人才創(chuàng )業(yè)企業(yè)（A類(lèi)）。中國航空學(xué)會(huì )會(huì )員、中國傳感器與物聯(lián)產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟理事、廈門(mén)市集成電路協(xié)會(huì )會(huì )員單位。公司以創(chuàng )始人在海外三十多年積累的微加工和超精密加工方面的領(lǐng)先技術(shù)及經(jīng)驗，聚焦以MEMS為核心的微加工技術(shù)，攻克“卡脖子”核心技術(shù)，解決高端芯片傳感器領(lǐng)域進(jìn)口替代問(wèn)題。
敬微精密是一家核心設備自己制造、關(guān)鍵工藝自己研發(fā)的高端MEMS芯片傳感器公司，始終堅持以“傳感器核心技術(shù)自主可控”為己任，依托自研設備和工藝結合優(yōu)勢，攻關(guān)耐高溫、高精度、高可靠性的壓力芯片傳感器關(guān)鍵技術(shù)，解決長(cháng)期制約我國航空航天、深海、核能石化和高端制船等領(lǐng)域的發(fā)動(dòng)機壓力測量“芯”的難題，以國際頂尖水平的超精密加工能力，集中做自主可控的高端MEMS壓力芯片傳感器為主，填補國內市場(chǎng)空白，實(shí)現高端領(lǐng)域“中國芯”的突破。
