国产一级一国产一级毛片|一级女性全黄久久生活片|好大好爽好猛我要喷水了|无码国产玉足脚交极品网站|又爽又刺激的欧美毛片|韩国特级一级毛片免费网站

        2018年8月3日，科技部發(fā)布《關(guān)于國家重點(diǎn)研發(fā)計劃“智能機器人”等重點(diǎn)專(zhuān)項2018年度項目申報指南的通知》（國科發(fā)資[2018]108號），包含智能機器人、現代服務(wù)業(yè)共性關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)及應用示范、可再生能源與氫能技術(shù)、綜合交通運輸與智能交通、網(wǎng)絡(luò )協(xié)同制造和智能工廠(chǎng)、核安全與先進(jìn)核能技術(shù)、制造基礎技術(shù)與關(guān)鍵部件7個(gè)重點(diǎn)專(zhuān)項。其中，10項先進(jìn)傳感器課題被列入“制造基礎技術(shù)與關(guān)鍵部件”專(zhuān)項中。

各個(gè)研究課題的研究?jì)热莺涂己酥笜司唧w如下：

1、高性能硅壓力、加速度、角速度傳感器前沿技術(shù)（基礎前沿技術(shù)類(lèi)）

    研究?jì)热荩貉芯啃滦椭C振式硅傳感器敏感原理和結構；研究傳感器非線(xiàn)性效應、耦合效應、溫度效應及工藝誤差影響；研究傳感器優(yōu)化設計、制造工藝精確控制、低應力封裝等關(guān)鍵技術(shù)；開(kāi)發(fā)閉環(huán)信號檢測與控制電路系統集成技術(shù)；研制高精度硅壓力傳感器、加速度傳感器、角速度傳感器原型器件，并在流程工業(yè)與機器人領(lǐng)域試用驗證。

   考核指標：壓力傳感器量程0~1MPa,精度優(yōu)于0.01%FS；加速度傳感器量程±15g，零偏穩定性?xún)?yōu)于1μg；角速度傳感器量程±200°/s，零偏穩定性?xún)?yōu)于0.1°/h。

2、基于量子效應的微納傳感器前沿技術(shù)（基礎前沿技術(shù)類(lèi)）

    研究?jì)热荩貉芯炕诹孔有男酒浇撬俣葌鞲衅?、磁?chǎng)傳感器設計方法；研究傳感器電子自旋-核自旋相互作用機理、溫度效應；研究諧振頻率控制、微型腔室制備、真空封裝等關(guān)鍵技術(shù)；開(kāi)發(fā)激光器、探測器、處理電路系統集成技術(shù)；研制高精度角速度傳感器、磁場(chǎng)傳感器原型器件，并在重大技術(shù)裝備中試用驗證。

    考核指標：角速度傳感器表頭體積≤100cm³，量程±200°/s，零偏穩定性?xún)?yōu)于0.1°/h；磁場(chǎng)傳感器表頭體積≤10cm³，靈敏度優(yōu)于10fT/Hz^1/2。

3、無(wú)線(xiàn)無(wú)源微納傳感器前沿技術(shù)（基礎前沿技術(shù)類(lèi)）

    研究?jì)热荩貉芯课⑿突暠砻娌ǎ?/span>SAW）、電感-電容（LC）無(wú)線(xiàn)傳感器設計；研究傳感器多參數敏感的耦合效應；研究傳感器結構優(yōu)化設計、曲面襯底上傳感器制備工藝、封裝、工業(yè)環(huán)境無(wú)線(xiàn)信號傳輸等關(guān)鍵技術(shù)；開(kāi)發(fā)信號調制解調技術(shù)及處理電路系統集成技術(shù)；研制SAW和LC多參數檢測傳感器原型器件，并在燃氣輪機主軸、軸承健康狀況監測中試用驗證。

    考核指標：SAW傳感器：溫度量程-40℃~+1000℃，誤差±1%；應變量程±3000με，誤差±1%；氣壓量程0~4MPa，誤差±1%。LC傳感器：溫度量程-20℃~+120℃，誤差±1%；應變量程±1000με，誤差±1%；振動(dòng)量程±6g，誤差±1%。

4、微納傳感器與電路協(xié)同設計技術(shù)及設計工具（共性關(guān)鍵技術(shù)類(lèi)）

    研究?jì)热荩航?/span>/機械/電學(xué)多物理場(chǎng)耦合模型、硅表面加工與體加工工藝模型、閉環(huán)控制傳感器宏模型；研究具有完全自主知識產(chǎn)權、包含器件級、工藝級、系統級設計功能的微納傳感器綜合設計工具；研究微納傳感器與電路協(xié)同設計技術(shù)，并實(shí)現與集成電路（LC）設計工具的無(wú)縫連接；形成集成傳感器知識產(chǎn)權（IP），IP經(jīng)過(guò)生產(chǎn)線(xiàn)驗證。

   考核指標：器件級耦合分析自由度≥1*10⁷；工藝級仿真與實(shí)驗偏差優(yōu)于5%；系統級仿真與實(shí)驗偏差優(yōu)于10%；閉環(huán)控制集成傳感器IP不少于3種，軟件銷(xiāo)售≥10套。

5、微納傳感器與電路單片集成工藝技術(shù)及平臺（共性關(guān)鍵技術(shù)類(lèi)）

    研究?jì)热荩貉芯吭谕恍酒现圃煳⒓{傳感器與IC的工藝技術(shù)；以互補-金屬-氧化物-硅（CMOS）工藝線(xiàn)為基礎，研究與CMOS工藝兼容的微納傳感器表面加工、體加工、硅直接鍵合加工等關(guān)鍵技術(shù)；建立可 量產(chǎn)的微納傳感器與電路單片集成制造技術(shù)并形成標準制程規范，實(shí)現單片集成微納傳感器規?；a(chǎn)。

   考核指標：圓片直徑≥150mm，單片集成傳感器成品率≥80%，成套制程規范或標準≥3項；服務(wù)用戶(hù)數≥3家，開(kāi)發(fā)單片集成傳感器不少于3種，生產(chǎn)能力≥5000片/年，銷(xiāo)售單片集成傳感器≥100萬(wàn)只。

6、圓片級真空封裝及其測試技術(shù)于平臺（共性關(guān)鍵技術(shù)類(lèi)）

    研究?jì)热荩貉芯课C電系統（MEMS）圓片級真空封裝設計技術(shù)；研究圓片級多層布線(xiàn)、金屬和 絕緣薄膜平坦化技術(shù)、低溫鍵合、吸氣劑生長(cháng)及激活、真空測試等關(guān)鍵技術(shù)；研究可量產(chǎn)的圓片級真空封裝技術(shù)并形成標準制程規范，實(shí)現多種器件規?；瘓A片級真空封裝。

    考核指標：圓片直徑≥150mm，圓片級封裝真空度≤0.1Pa，漏率≤5.0*10^-12Pa·m³/s，真空封裝成品率≥90%，真空封裝器件種類(lèi)≥3種；成套標準制程規范≥3個(gè)，服務(wù)用戶(hù)數≥3個(gè)，生產(chǎn)能力≥5000片/年，銷(xiāo)售量≥1萬(wàn)只。

7、高溫硅壓力傳感器關(guān)鍵技術(shù)及應用（應用示范類(lèi)）

    研究?jì)热荩貉芯扛呖煽啃?/span>MEMS高溫硅壓力傳感器結構優(yōu)化技術(shù)；研究低應力無(wú)引線(xiàn)封裝、溫度補償、高溫專(zhuān)用電路（ASIC）芯片等關(guān)鍵技術(shù)；開(kāi)發(fā)測控接口電路；實(shí)現批量化生產(chǎn)并在重大技術(shù)裝備中應用。

    考核指標：溫度范圍-55℃~+225℃，量程0~200kPa、0~60MPa，精度優(yōu)于0.25%FS，零點(diǎn)漂移優(yōu)于2%FS@100http://www.most.gov.cn/mostinfo/xinxifenlei/fgzc/gfxwj/gfxwj2018/201808/t20180803_141054.htm

    項目申報指南可見(jiàn)附件。

附件：

“制造基礎技術(shù)與關(guān)鍵部件”重點(diǎn)專(zhuān)項2018年度項目申報指南（指南編制專(zhuān)家名單、形式審查條件要求）