中國電子元件行業(yè)協(xié)會(huì )
China Electronic Components Association
奧松電子研發(fā)制造的AS200系列質(zhì)量流量控制器，無(wú)需溫壓補償，不但具有質(zhì)量流量計的功能，還能自動(dòng)控制氣體流量。用戶(hù)根據生產(chǎn)需要進(jìn)行流量設定后，AS200自動(dòng)地將流量恒定在設定值上，即使系統壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化，也不會(huì )使其偏離設定值。
AS200系列產(chǎn)品是奧松電子采用先進(jìn)的MEMS技術(shù)研發(fā)，在傳感器的驅動(dòng)，零點(diǎn)漂移的控制和閥控等諸多方面都采用了獨特的技術(shù)，保證了產(chǎn)品的高性能、高品質(zhì)和高可靠性，是目前市場(chǎng)上一款穩定性好、精度高、泄漏率低、耐壓高的優(yōu)質(zhì)儀器。
與眾不同 性能出色
1、適用于多種常規氣體、混合氣體及腐蝕性氣體，實(shí)現精準的測量控制，精度高達±1.0% S.P. (≥35% F.S）；±0.35% F.S. (<35% F.S.)；
2、產(chǎn)品通過(guò)十萬(wàn)次重復性測試，重復精度高達±0.2%F.S.；
3、耐壓強度為3MPa，最大工作壓力可達0.45MPa（可定制0.6MPa），能滿(mǎn)足市面上大部分的客戶(hù)需求；
4、1×10-10 Pa·m3 / sec H的低泄露率，氣密性好，保障生產(chǎn)安全；
5、無(wú)需預熱，快速響應，流量控制穩定；
6、流量范圍覆蓋多個(gè)量程，從5SCCM到200SLM（可定制），能適應多種場(chǎng)景需求；
7、可同時(shí)支持數字信號，0～5V 模擬信號，4～20mA或 0~20mA 模擬信號，方便客戶(hù)選擇；
8、使用雙電源（±15 VDC）或單電源（+15～+28 VDC）；
9、提供功能強大的免費客戶(hù)端上位機軟件；
10、定制化解決方案，支持自動(dòng)故障報警；
11、標準開(kāi)放的通訊協(xié)議為客戶(hù)自行開(kāi)發(fā)控制、采集軟件提供便利
多領(lǐng)域多場(chǎng)景應用廣泛
氣體質(zhì)量流量控制器（AS200系列）用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密控制和測量。它們在半導體集成電路工藝、特種材料、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著(zhù)重要的應用。其典型的應用場(chǎng)合包括: 集成電路工藝設備, 如外延爐、擴散爐、CVD、等離子刻蝕機、濺射臺、離子注入機; 以及鍍膜設備、光纖熔煉設備、微反應裝置、混氣配氣系統、氣體取樣裝置、毛細管測量?jì)x、氣相色譜儀及其它分析儀器。
