中國電子元件行業(yè)協(xié)會(huì )
China Electronic Components Association
中科微感近期推出了新一代MEMS基金屬氧化物半導體原理的TVOC傳感器，采用納米級別膜層沉積工藝，在納米敏感材料和薄膜上進(jìn)行特殊優(yōu)化工藝，并采用最新一代LGA封裝，使得傳感器相較上一代TVOC產(chǎn)品具有更高的一致性、穩定性和靈敏性的特點(diǎn)，改善了上一代傳感器在高污染環(huán)境中，其阻值容易漂移的問(wèn)題，提升了傳感器本身的抗硅中毒性能。
TVOC是什么？
TVOC，即總揮發(fā)性有機化合物（Total Volatile Organic Compounds），是指室溫下飽和蒸氣壓超過(guò)了133.32 Pa的有機物，其沸點(diǎn)在50℃至250℃，在常溫下可以蒸發(fā)的形式存在于空氣中，它的毒性、刺激性、致癌性和特殊的氣味性，會(huì )影響皮膚和黏膜，對人體產(chǎn)生急性損害。世界衛生組織、美國國家科學(xué)院/國家研究理事會(huì )（NAS/NRC）等機構一直強調TVOC是一類(lèi)重要的空氣污染物。
中科微感推出高性能TVOC傳感器
中科微感近期推出了新一代MEMS基金屬氧化物半導體原理的TVOC傳感器，采用納米級別膜層沉積工藝，在納米敏感材料和薄膜上進(jìn)行特殊優(yōu)化工藝，并采用最新一代LGA封裝，使得傳感器相較上一代TVOC產(chǎn)品具有更高的一致性、穩定性和靈敏性的特點(diǎn)，改善了上一代傳感器在高污染環(huán)境中，其阻值容易漂移的問(wèn)題，提升了傳感器本身的抗硅中毒性能。
中科微感提供的CM-A3012S傳感器模組可檢測0.1-500 ppm范圍內的TVOC濃度，滿(mǎn)足不同場(chǎng)景的需求。本傳感器可嵌入各種與空氣中TVOC濃度相關(guān)的儀器儀表或環(huán)境改善設備，為其提供及時(shí)準確的濃度數據，且檢測過(guò)程操作方便、測量準確、工作可靠，無(wú)需重新標定。
產(chǎn)品性能參數
響應性
下圖所示為我司敏感材料對該氣體的響應性曲線(xiàn)，均在我公司的標準試驗條件下測出。
縱坐標表示傳感器電阻比 Rg/Ra，Rg與Ra的定義如下：
Rg = 各種濃度氣體中的傳感器電阻值
Ra = 潔凈空氣中的傳感器電阻值
如上圖所示，本系列傳感器對10 ppm異丁烯的響應性均達到2倍以上。
溫濕度測試
下圖所示為我司敏感材料溫濕度特性曲線(xiàn)，均在我公司的標準試驗條件下測出。
縱坐標表示傳感器電阻比 Rg/Ra，Rg與Ra的定義如下：
Rg = 各種溫濕度潔凈空氣中的傳感器電阻值
Ra = 20 ℃ 50% RH潔凈空氣中的傳感器電阻值
耐硅中毒
下圖所示為我司敏感材料對20 ppm六甲基二硅醚40小時(shí)的耐受性，4顆樣品均在我公司的標準試驗條件下測出?？v坐標表示耐硅前后靈敏度漂移Δ response，Δ response定義如下：
Δ response =（耐硅后靈敏度-耐硅前靈敏度）/耐硅前靈敏度*100%
耐硅靈敏度偏差優(yōu)異低于20%的測試標準，表現優(yōu)異。
技術(shù)參數
封裝形式
根據不同客戶(hù)需求，中科微感為客戶(hù)提供三種封裝形式：
產(chǎn)品尺寸：
LGA封裝：長(cháng)2.75 * 寬1.85 * 高1.03（單位：毫米）
DFN封裝：長(cháng)5 * 寬5 * 高1.04（單位：毫米）
TO-5封裝：直徑9.2 * 高18.4（單位：毫米）
TVOC傳感器應用場(chǎng)景
智能家居
TVOC已成為室內空氣質(zhì)量（IAQ）評估中的重要指標。它可以對皮膚和黏膜造成傷害，并可能導致急性損傷和免疫系統失調。高性能TVOC傳感器能憑借其小體積被集成在各類(lèi)智能家居中，根據不同需求，能夠有不同量程的TVOC傳感器供選擇，實(shí)現對整體家庭空氣質(zhì)量環(huán)境的監管。
環(huán)?；?/p>
在制藥、農藥、涂料等環(huán)?；ば袠I(yè)，對TVOC的排放需要進(jìn)行嚴格監控。由于VOCs具有高揮發(fā)性，涉及的行業(yè)廣泛，排放源眾多，呈現出無(wú)組織排放的明顯特征。大量大規模且廣泛分布的企業(yè)尚未采取有效的管控措施，導致企業(yè)自行監測的質(zhì)量普遍較低。同時(shí)，點(diǎn)位設置存在不合理、采樣方式不規范、監測時(shí)段代表性不強等問(wèn)題，缺乏現場(chǎng)快速檢測等有效手段。
大氣質(zhì)量檢測
中科微感的半導體傳感器解決方案為物聯(lián)網(wǎng)系統提供了一種創(chuàng )新的個(gè)性化實(shí)現。我們的最新一代金屬氧化物半導體氣體傳感器能夠準確測量氣味和污染物的相對濃度，包括揮發(fā)性有機化合物（TVOC）。
中科微感氣體模組測試數據
質(zhì)譜儀測試數據
上圖為中科微感TVOC檢測模組與質(zhì)譜儀在大氣環(huán)境的對比測試數據趨勢。
車(chē)內空氣質(zhì)量檢測
車(chē)內的有害氣體主要來(lái)自?xún)煞矫妫阂皇擒?chē)內飾品，如皮革、毯子、橡膠（腳墊）等，它們在制造過(guò)程中大量使用化學(xué)用品，釋放出TVOC和甲醛等有害物質(zhì)。二是車(chē)輛本身，例如隔音棉，其通常與PP填充料、PU發(fā)泡材料等一同使用，廣泛分布在車(chē)廂底部、車(chē)身門(mén)板和前圍件中。在高溫條件下，這些材料可能釋放出大量的TVOC，導致車(chē)內濃度升高，產(chǎn)生異味。因此，關(guān)注和控制汽車(chē)內有害氣體是保障乘車(chē)環(huán)境健康的重要一環(huán)。中科微感TVOC傳感器能通過(guò)精準測量TVOC濃度，為車(chē)內環(huán)境安全保駕護航。
