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成果簡(jiǎn)介

針對高精度、高性能MEMS加速度計、陀螺儀的全國產(chǎn)化設計與制造需求，在高精度、高性能加速度計、陀螺儀的結構設計、晶圓級制造工藝檢測、先進(jìn)封裝、專(zhuān)用集成電路等方面開(kāi)展研究，突破了全自主、全國產(chǎn)中高端MEMS慣性器件流片工藝，核心指標接近甚至部分超越國際主流產(chǎn)品，解決“卡脖子”問(wèn)題。主要產(chǎn)品及技術(shù)參數如下：1）MEMS陀螺儀：具有<1%地球轉速分辨能力，定向精度優(yōu)于1°，零偏不穩定性及尋北精度接近以Honeywell HG7930為代表的國際最高水平；2）MEMS諧振式加速度計：尺寸8.8mm×8.8mm，量程±30g，偏值不穩定性<1μg；通過(guò)-40~60℃全溫區、13.8grms隨機振動(dòng)、150g跌落、3000g沖擊響應譜等模擬環(huán)境驗證。零偏與標度穩定性與Honeywell的石英基產(chǎn)品Q(chēng)A3000持平，抗沖擊能力更優(yōu)。

應用領(lǐng)域

無(wú)人系統、自動(dòng)駕駛、高端工業(yè)、電子產(chǎn)品等領(lǐng)域。

市場(chǎng)前景

MEMS慣性傳感器成果已在多家重點(diǎn)企業(yè)加速度計、陀螺儀項目得到應用，并且憑借自身成本、體量、功耗、可靠性等綜合性能進(jìn)入其他運動(dòng)感知傳感器市場(chǎng)。預計2023至2026年中國MEMS慣性傳感器行業(yè)市場(chǎng)規模年復合增長(cháng)率將達到11.15%，到2026年能夠增長(cháng)至362.58億元。目前中高端產(chǎn)品被國外寡頭壟斷，國產(chǎn)替代機會(huì )空間豐厚；下游新需求、新應用拉動(dòng)，中國MEMS慣性傳感器市場(chǎng)增速將領(lǐng)先全球。

知識產(chǎn)權

已獲批多項專(zhuān)利，均為成果單位單獨持有。