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上海理工大學(xué)在ppb級MEMS氣體傳感器領(lǐng)域取得重要進(jìn)展
來(lái)源:麥姆斯咨詢(xún)  瀏覽次數:5200  發(fā)布時(shí)間:2024-10-14

近日,上海理工大學(xué)材料與化學(xué)學(xué)院王丁團隊在MEMS氣體傳感領(lǐng)域取得重要進(jìn)展,相關(guān)研究成果以“Ultrafast and Parts-per-Billion-Level MEMS Gas Sensors by Hetero Interface Engineering of 2D/2D Cu-TCPP@ZnIn2Swith Enriched Surface Sulfur Vacancies”為題在國際著(zhù)名期刊Nano Letters上發(fā)表。



該研究以購自廈門(mén)海恩邁科技有限公司的微懸臂梁氣敏測試系統作為測試平臺,實(shí)時(shí)監測三乙胺(TEA)分子在2D/2D Cu-TCPP@ZnIn2S4復合敏感材料上吸附所引起的頻率變化,輸出動(dòng)態(tài)響應曲線(xiàn)。同時(shí)利用該系統的熱力學(xué)動(dòng)力學(xué)分析功能,進(jìn)一步測量得到吸附焓變、活化能等參數,以指導敏感材料的設計合成與優(yōu)化、以及增敏機理探究等。


背景介紹


三乙胺(TEA)是一種的揮發(fā)性有機化合物(VOC),在工業(yè)生產(chǎn)中常作為極性溶劑、聚合物抑制劑、防腐劑和染料合成劑等被廣泛應用。但是,TEA具有強烈的氨氣味和潛在毒性,當TEA的濃度超過(guò)10 ppm時(shí)會(huì )對人體健康產(chǎn)生嚴重影響,長(cháng)期暴露于TEA環(huán)境中時(shí)將對呼吸系統、中樞神經(jīng)系統、循環(huán)系統和肝臟等造成嚴重損傷,甚至危及生命。因此,精確監測日常環(huán)境中的TEA濃度,評估室內空氣質(zhì)量,對于保護人體健康至關(guān)重要。


目前,TEA傳感器主要采用色譜法、電化學(xué)法和光譜法等,但這些方法存在所需設備昂貴、或實(shí)驗程序復雜等不足;半導體型氣體傳感器則工作溫度高、功耗較大、穩定性和壽命較差,檢測范圍局限于ppm量級。相比之下,諧振式微懸臂梁微機電系統(MEMS)氣體傳感器因其工作原理簡(jiǎn)單、靈敏度高等優(yōu)點(diǎn),能夠在室溫下將物理量轉換為頻率信號實(shí)現對目標氣體的監測,在氣體吸附、傳感以及材料熱力學(xué)和動(dòng)力學(xué)參數分析等領(lǐng)域被廣泛應用。


在以往的研究中,石墨烯、金屬有機框架(MOF)、金屬氧化物和金屬硫化物等氣敏材料用于諧振式微懸臂梁MEMS氣體傳感器檢測NH3、甲苯、NO和甲醛等氣體已取得一些進(jìn)展,但關(guān)于TEA傳感的研究鮮有報道。因此,本項研究合理設計一種新型復合敏感材料,用于構建高性能的TEA氣體傳感器,實(shí)現日常環(huán)境中TEA的快速高效識別、維護公眾安全具有重要意義。


本文亮點(diǎn)


在本研究中,首次成功合成了一種新型的2D/2D Cu-TCPP@ZnIn2S4復合材料,以Cu-TCPP MOF作為核心襯底材料,在其表面生長(cháng)了具有{0001}晶面取向的2D超薄ZnIn2S4納米片?;诰哂胸S富的硫空位的2D/2D Cu-TCPP@ZnIn2S4復合敏感材料所構建的氣體傳感器對TEA表現出優(yōu)越的敏感性能:在室溫下對ppb量級的TEA表現出超高的靈敏度(1.5 Hz@50 ppb和2.3 Hz@100 ppb)和快速的響應能力(9 s@500 ppb),以及良好的抗濕性、選擇性和長(cháng)期穩定性。同時(shí),結合一系列原位表征和密度泛函理論計算,深入闡述了Cu-TCPP@ZnIn2S4傳感器的敏感機制,ZnIn2S4納米片的引入增加了的復合材料的比表面積、提供了豐富的硫空位活性位點(diǎn),增強了傳感器對TEA的吸附和傳質(zhì)過(guò)程,共同促進(jìn)了氣敏性能的提升。這一設計為未來(lái)氣體傳感器的發(fā)展和應用提供了重要的指導價(jià)值。


圖文解析


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圖1 (a) Cu-TCPP@ZnIn2S4傳感器的制作流程示意圖;(b-d) Cu-TCPP、ZnIn2S4和Cu-TCPP@ZnIn2S4的SEM圖像;(e) Cu-TCPP@ZnIn2S4的TEM和HRTEM圖像;(f-j) Cu-TCPP@ZnIn2S4的STEM-EDS圖像。


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圖2 Cu-TCPP、ZnIn2S4和Cu-TCPP@ZnIn2S4復合材料的氣敏性能結果:(a-c)在293 K下對不同濃度TEA氣體的動(dòng)態(tài)響應曲線(xiàn);(d) Langmuir響應擬合曲線(xiàn);(e)選擇性;(f,g)響應/恢復曲線(xiàn);(h)穩定性;(i)抗干擾性。


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圖3 (a-c) Cu-TCPP納米片、ZnIn2S4納米片和Cu-TCPP@ZnIn2S4復合材料對313 K下不同濃度TEA的動(dòng)態(tài)響應曲線(xiàn);(d-i) Cu-TCPP、ZnIn2S4和Cu-TCPP@ZnIn2S4復合材料的熱力學(xué)和動(dòng)力學(xué)參數提取。

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