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    隨著(zhù)技術(shù)的進(jìn)步和市場(chǎng)的需求，MEMS 氣流傳感器被應用于電子煙領(lǐng)域。MEMS氣流傳感器同樣是基于檢測電容變化的原理，不同之處是使用微電子制造和微機械加工技術(shù)將一個(gè)電容器集成在微硅晶片上，硅結構中的薄膜隨氣流壓差產(chǎn)生電容的變化，同樣由ASIC芯片采集并處理電容變化的信號。由于MEMS氣流傳感器采用硅基材料，制造工藝均為微米甚至納米級，與傳統駐極體電容咪相比，在參數一致性等諸多方面有巨大的優(yōu)勢。

    一、電子煙氣流傳感器應用現狀

   1)在電子煙應用領(lǐng)域，通常采用的是駐極體電容傳感器（ECM）。該傳感器內部是由駐極體膜片和極板構成的電容器，吸煙的負壓引起導電薄膜的變形，從而引發(fā)等效電容的變化。專(zhuān)用咪頭檢測ASIC芯片CSC982H3檢測到電容的變化量ΔC達到設定的閾值時(shí)，輸出高電平信號被MCU采集到，再進(jìn)行信號的后續處理。

    2)隨著(zhù)技術(shù)的進(jìn)步和市場(chǎng)的需求，MEMS 氣流傳感器被應用于電子煙領(lǐng)域。MEMS氣流傳感器同樣是基于檢測電容變化的原理，不同之處是使用微電子制造和微機械加工技術(shù)將一個(gè)電容器集成在微硅晶片上，硅結構中的薄膜隨氣流壓差產(chǎn)生電容的變化，同樣由ASIC芯片采集并處理電容變化的信號。由于MEMS氣流傳感器采用硅基材料，制造工藝均為微米甚至納米級，與傳統駐極體電容咪相比，在參數一致性等諸多方面有巨大的優(yōu)勢。

    3)MEMS氣流傳感器和駐極體電容咪頭的性能對比

   二、電子煙專(zhuān)用MEMS傳感器——CSC581X和CSC381X系列

（一）概述

   CSC581X和CSC381X為MEMS氣流傳感器，其通過(guò)MEMS感應氣壓變化，將電容的變化轉換成數字信號，并通過(guò)門(mén)限閾值的設置給出控制信號。它體積小，功耗低，防漏液、漏油以及防反吹。適用于需要測量極低壓差或者空氣流量的設備，如電子煙等便攜式設備。

    CSC581X 檢測 MEMS 電容增大變化，相對于前蓋上的氣孔接收負壓，就是背板上的氣孔進(jìn)氣，俗稱(chēng)正向檢測。CSC381X檢測 MEMS 電容減小變化，相對于背板上的氣孔接收負壓，就是前蓋上的氣孔進(jìn)氣，俗稱(chēng)反向檢測。

    CSC581X和CSC381X 有一個(gè) OUT 輸出端，當 MEMS 器件兩側產(chǎn)生的壓差低于閾值壓力時(shí)，OUT端低電平輸出；高于閾值壓力時(shí)，OUT 端高電平輸出。若壓力持續低于閾值壓力超過(guò) 12.5 秒，進(jìn)入保護狀態(tài)，OUT 端恢復低電平輸出；還有一個(gè) SDO 端，SDO 端輸出如下：使用單線(xiàn)編碼傳送氣流計數初始值和氣流實(shí)時(shí)值，共計 28 位通過(guò) SDO 傳送給 MCU，由 MCU 根據這兩個(gè)數值來(lái)設定吸煙靈敏度或上鎖、解鎖靈敏度。

    后綴希臘字母具有頂層防油網(wǎng)膜；無(wú)后綴希臘字母為無(wú)頂層防油網(wǎng)膜。

（二）主要特性

    1.有正向氣流檢測（CSC581X）和反向氣流檢測（CSC381X）兩種，適用不同的電子煙結構；

   2.具有獨特的負壓值實(shí)時(shí)檢測功能，使用單線(xiàn)編碼傳送數據（SDO端），配合MUC可以輕松實(shí)現童鎖輕重吸功能，或者根據用戶(hù)吸力大小自適應調整輸出煙霧量；

   3.內含防自啟功能，有效防止上電、反吹 15 秒、多次快速重置、環(huán)境變化和突發(fā)干擾引起的自動(dòng)吸煙；

   4.靈敏度多檔位可選，偏差±30Pa；

   5.采用 2718-4P 封裝；

（三）正向氣流檢測和反向氣流檢測示意圖

（四）功能框圖

（五）引腳定義

（六）選型表

（七）實(shí)時(shí)負壓值檢測功能

    SDO端口的輸出使用單線(xiàn)編碼，傳送電容檢測的初始值C0和實(shí)時(shí)差值ΔC，可由MCU根據這兩個(gè)數值的比值來(lái)實(shí)現防自啟功能、設定吸煙靈敏度或電子鎖的上/解鎖靈敏度，包括根據吸力大小，實(shí)現自適應的變功率輸出（可以按照n/64的級數進(jìn)行比較）。

（八）封裝外形尺寸