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     高溫環(huán)境引起的熱輻射損耗會(huì )導致傳感器器件有較大的聲波衰減，因此在這種環(huán)境下工作的傳感器應具有足夠大的品質(zhì)因數（Q）且損耗較低。傳統的有線(xiàn)有源傳感器不能用于高溫環(huán)境下的溫度測量，而基于聲表面波（surface acoustic wave，SAW）的無(wú)線(xiàn)無(wú)源溫度傳感器為此提供了良好的解決方案。

　　中國科學(xué)院聲學(xué)研究所超聲技術(shù)中心博士生李學(xué)玲及其導師王文等，采用短脈沖法提取精確的反射系數，并用典型的耦合模 (coupling of modes，COM)模型，對LGS/Pt結構聲表面波溫度傳感器件進(jìn)行優(yōu)化設計，仿真和試驗證明該器件具有良好的高溫傳感性能。相關(guān)研究成果在線(xiàn)發(fā)表在Sensors上。

　　研究人員基于不同Pt膜厚與波長(cháng)比的LGS/Pt器件的結構開(kāi)展實(shí)驗研究?？蒲腥藛T采用最小二乘法對實(shí)驗數據進(jìn)行擬合，得出反射系數計算公式，利用有限元方法提取Pt/LGS的其他COM參數，通過(guò)典型的COM模型對Pt/LGS結構的單端口諧振器進(jìn)行模擬，并確定了具有較大Q值的最佳設計參數。

　　研究人員利用光刻技術(shù)研制400MHz單端口聲表面波諧振器，用網(wǎng)絡(luò )分析儀對其測量得到較高的Q值，測量結果與模擬結果吻合良好。在50～650℃的溫度范圍里，測試所制備的傳感器件的高溫特性，測試結果顯示其具有良好的穩定性和線(xiàn)性TCF（ ～25 ppm/°C.），證明該器件具有較好的高溫傳感性能。

　　研究表明，聲表面波高溫傳感技術(shù)可用于極端高溫環(huán)境下的高靈敏度溫度監測和預警。

　　研究工作得到國家自然科學(xué)基金聯(lián)合重點(diǎn)基金項目等的資助。