中國電子元件行業(yè)協(xié)會(huì )
China Electronic Components Association
通過(guò)技術(shù)和Equipment Intelligence®（設備智能）的創(chuàng )新，Vantex™重新定義了高深寬比刻蝕，助力芯片制造商推進(jìn)3D NAND和DRAM的技術(shù)路線(xiàn)圖。
上海 ——近日，泛林集團 (Nasdaq: LRCX) 發(fā)布了專(zhuān)為其最智能化的刻蝕平臺Sense.i™所設計的最新介電質(zhì)刻蝕技術(shù)Vantex™?；诜毫旨瘓F在刻蝕領(lǐng)域的領(lǐng)導地位，這一開(kāi)創(chuàng )性的設計將為目前和下一代NAND和DRAM存儲設備提供更高的性能和更大的可延展性。
3D存儲設備通常被應用于例如智能手機、顯卡和固態(tài)存儲驅動(dòng)等。芯片制造商們一直以來(lái)都在通過(guò)縱向增加設備尺寸和橫向減少關(guān)鍵尺寸(CD)持續降低先進(jìn)技術(shù)產(chǎn)品的位成本，將3D NAND和DRAM中的刻蝕深寬比提升至更高水平。
Vantex的全新腔室設計能夠以更高的射頻(RF)功率刻蝕更高深寬比的器件，提升產(chǎn)能，降低成本。更高的功率和射頻脈沖技術(shù)的結合可以實(shí)現嚴苛的CD控制，從而改進(jìn)器件功能。
根據3D NAND設備的技術(shù)路線(xiàn)圖，每一代刻蝕都需要實(shí)現更大的深度，這也推動(dòng)了提升刻蝕輪廓均勻性的需求。Vantex技術(shù)控制了刻蝕的垂直角度，以滿(mǎn)足這些3D器件結構設計密度要求，并在整個(gè)300mm晶圓上實(shí)現高良率。
“10多年來(lái)，泛林集團一直在高深寬比刻蝕領(lǐng)域保持行業(yè)領(lǐng)先，我們所獨有的經(jīng)驗使Vantex的腔室設計從一開(kāi)始就能夠為未來(lái)的許多技術(shù)節點(diǎn)提供可延展性和創(chuàng )新性。” 泛林集團高級副總裁、刻蝕產(chǎn)品事業(yè)部總經(jīng)理Vahid Vahedi表示，“Vantex重新定義了刻蝕平臺性能和生產(chǎn)效率的行業(yè)標桿，這一突破性的刻蝕技術(shù)對于客戶(hù)來(lái)說(shuō)非常有吸引力。”
泛林集團Sense.i刻蝕平臺具有Equipment Intelligence®（設備智能）功能，可以從數百個(gè)傳感器收集數據，監測系統和工藝性能。借助Sense.i系統的高帶寬通信，Vantex刻蝕腔室在每個(gè)晶圓中采集的數據多于市場(chǎng)上其他任何設備——它能夠更有效地分析和利用數據，以提高晶圓上和晶圓間的性能。
泛林集團將持續向存儲器行業(yè)的領(lǐng)軍客戶(hù)提供Sense.i平臺上的Vantex以期獲得客戶(hù)認可和重復訂單，助力客戶(hù)在2021年實(shí)現高量產(chǎn)。
泛林集團Vantex™新型刻蝕腔室搭載其行業(yè)領(lǐng)先的Sense.i™刻蝕平臺
關(guān)于泛林集團
泛林集團（納斯達克股票代碼：LRCX）是全球半導體產(chǎn)業(yè)創(chuàng )新晶圓制造設備及服務(wù)主要供應商。作為全球領(lǐng)先半導體公司可信賴(lài)的合作伙伴，我們結合了卓越的系統工程能力、技術(shù)領(lǐng)導力，以及幫助客戶(hù)成功的堅定承諾，通過(guò)提高器件性能來(lái)加速半導體產(chǎn)業(yè)的創(chuàng )新。事實(shí)上，當今市場(chǎng)上幾乎每一顆先進(jìn)的芯片都使用了泛林集團的技術(shù)。泛林集團是一家財富500強公司，總部位于美國加利福尼亞州弗里蒙特市，業(yè)務(wù)遍及世界各地。欲了解更多信息，請訪(fǎng)問(wèn)：www.lamresearch.com。
前瞻性聲明
本新聞稿包含美國1995年《私人證券訴訟改革法案》安全港條款規定前瞻性的陳述。這些前瞻性陳述包含但不僅限于下列內容：泛林集團的產(chǎn)品性能和服務(wù)；客戶(hù)使用泛林集團的設備所達成的結果；泛林集團的客戶(hù)對未來(lái)創(chuàng )新的需求，以及泛林集團產(chǎn)品滿(mǎn)足此類(lèi)需求的能力；泛林集團可從現有裝機客戶(hù)群體獲得的經(jīng)驗。所有前瞻性陳述均基于現有預期，可能受到以下影響：風(fēng)險，不確定性，條件的變化、重要性、價(jià)值和效果包括提交至美國證券交易委員會(huì )的存案文件中述明的風(fēng)險和不確定性，尤其是截至2020年6月28日財年的10-K年度報表，以及截至2020年9月27日的10-Q季度報表中所陳述的風(fēng)險因素。這些不確定性和變化可能導致實(shí)際結果與預期不同。泛林集團沒(méi)有任何義務(wù)更新本新聞稿中的任何前瞻性陳述。
