蘇州納芯微電子股份有限公司(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“納芯微電子”)日前宣布推出汽車(chē)集成式絕壓傳感器NSPAS3 / NSP163X系列。
納芯微NSPAS3系列是一款基于硅的壓阻效應并采用先進(jìn)的MEMS微加工工藝設計而成的汽車(chē)級集成式絕壓傳感器。該產(chǎn)品主要采用汽車(chē)級信號調理芯片對MEMS芯體(NSP163x)的輸出進(jìn)行校準和補償,能將10kPa至400kPa的壓力信號轉換為可自定義輸出范圍(0~5V)的模擬輸出信號。內置的車(chē)規級MEMS絕壓壓力芯體(NSP163x)是基于高靈敏度的單晶硅壓阻效應并采用先進(jìn)的硅硅鍵合CSOI MEMS微加工工藝設計而成,其制造平臺經(jīng)過(guò)IAFTF16949認證,每片晶圓都通過(guò)100% AOI檢測以及CP測試,產(chǎn)品在生命周期內精度和穩定性?xún)?yōu)于±1%F.S.,此外,AEC-Q103可靠性標準也正在認證中。
該系列MEMS晶圓芯體(NSP163x)以及合封產(chǎn)品(NSPAS3)主要應用于汽車(chē)進(jìn)氣歧管壓力檢測以及摩托車(chē)進(jìn)氣通路壓力檢測,也可用于混動(dòng)/新能源真空助力系統(VBS)和電池包壓力檢測,在工業(yè)控制,氣象站等應用上也有它的用武之地。
?高精度低功耗
高度線(xiàn)性,穩定性好,無(wú)需校準,100%溫度補償,0℃~85℃輸出精度優(yōu)于±1%F.S.,-40℃~130℃全溫范圍內精度優(yōu)于±1.5%F.S.,且工作電流小于3mA。
?多種輸出方式
支持模擬比例/絕對輸出,適用于多種應用需求,簡(jiǎn)單便利,可移植性好。
?車(chē)規級標準
高達18V的高壓供電,支持反壓-24V過(guò)壓28V保護,可承受3x過(guò)載壓力和5x爆破壓力,具有較高可靠性與穩定性。
?響應迅速
小于0.8ms的快速響應時(shí)間,可以快速控制空燃比。
?定制化產(chǎn)品
10kPa~400kPa內量程可定制,支持多種壓力應用場(chǎng)景,靈活性高,也可提供MEMS晶圓定制化產(chǎn)品。