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近日，上海大學(xué)微電子學(xué)院集成光子芯片團隊在硅基偏振不敏感光子濾波器研究上取得進(jìn)展，成果被國際知名光學(xué)期刊《Optics Express》接收發(fā)表，題為“Demonstration of polarization-insensitive optical filters on silicon photonics platform”。

圖片來(lái)源：上海大學(xué)

本論文對偏振不敏感的光子濾波器進(jìn)行了深入研究，采用偏振分集與微環(huán)諧振濾波相結合的方案，提出了一種新的結構緊湊的設計，在SOI上實(shí)現了偏振不敏感的光子濾波器。芯片采用CMOS兼容工藝在8英寸SOI晶圓上完成制作。測試結果表明器件在C波段實(shí)現了“箱型”濾波譜線(xiàn)，具有~0.15 nm的3 dB帶寬和大于30 dB的高消光比。該工作為在SOI上構建偏振不敏感的集成光子回路與系統提供了一種潛在的解決方案。

據悉，上海大學(xué)微電子學(xué)院成立于2019年11月，為上海大學(xué)與上海微技術(shù)工業(yè)研究院、中國科學(xué)院上海分院、嘉定區政府、集成電路全產(chǎn)業(yè)鏈創(chuàng )新企業(yè)共建，積極探索新機制，集聚社會(huì )優(yōu)質(zhì)資源，打造上海大學(xué)國際領(lǐng)先的集成電路超越摩爾人才培養高地。其前身是1958年嘉定校區成立的半導體器件與物理專(zhuān)業(yè)。