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49所自主研發(fā)出多款高端壓力傳感器
來(lái)源:網(wǎng)絡(luò )  瀏覽次數:610  發(fā)布時(shí)間:2018-09-03

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據麥姆斯咨詢(xún)報道,近日,“2018傳感器產(chǎn)業(yè)高峰論壇暨中國電子元件行業(yè)協(xié)會(huì )敏感元器件與傳感器分會(huì )年會(huì )”在遼寧沈陽(yáng)隆重舉行,230余家企業(yè)代表歡聚一堂。作為軍工國防傳感器之?huà)勺?,中國電子科技集團公司第四十九研究所(以下簡(jiǎn)稱(chēng):49所)深度參與本次盛會(huì )并展示了多款高端壓力傳感器,廣受專(zhuān)業(yè)人士的青睞和垂詢(xún),耿振亞研究員提供了相關(guān)技術(shù)應用咨詢(xún)。此次傳感器產(chǎn)業(yè)高峰論壇,49所產(chǎn)業(yè)部重點(diǎn)推出自主研制的高端壓力傳感器,包括高精度壓力傳感器、高溫MEMS壓力傳感器、高溫壓力傳感器及變送器等系列產(chǎn)品。

據了解,傳感器在惡劣環(huán)境特別是在高溫、多相介質(zhì)、高沖擊高振動(dòng)環(huán)境要進(jìn)行長(cháng)期穩定工作,對傳感器的結構設計、原材料的選用、標定過(guò)程試驗控制等都要有較高要求,而高溫壓力敏感芯片的自主制作是其中重要環(huán)節,比如高溫壓力傳感器敏感芯片的制作選用SOI硅晶圓,在高溫壓力芯片的MEMS工藝制造中要嚴格控制腐蝕參數和離子注入能量,有效電阻刻蝕為隔離槽制作,電極也是全新工藝多層濺射和多層刻蝕等。

49所產(chǎn)業(yè)部高端壓力傳感器系列產(chǎn)品采用自主研制的SOI硅壓阻式MEMS壓力敏感芯片,進(jìn)行隔離膜片OEM封裝制作MEMS壓力器件,徹底消除PN結本征漏電問(wèn)題,產(chǎn)品全溫區補償后靜態(tài)精度達到0.1%以上,可長(cháng)期工作在150℃、200℃高溫溫度環(huán)境。傳感器產(chǎn)品具有結構堅固、靈敏度高、抗振性能好、耐受沖擊、低功耗、長(cháng)期工作穩定等特點(diǎn)。


此次展示的產(chǎn)品主要有:SOI高溫MEMS壓力敏感芯片;高溫壓力傳感器器件;高溫(200℃)MEMS壓力傳感器;高溫(150℃、200℃)壓力傳感器及變送器;高精度壓力傳感器等。高端壓力傳感器產(chǎn)品應用領(lǐng)域包括:航天航空、石油開(kāi)采深井測量與控制、醫療滅菌設備系統、空氣壓縮機、高溫環(huán)境液壓過(guò)程控制等,傳感器系列產(chǎn)品應用也可以擴展到汽車(chē)電子發(fā)動(dòng)機控制系統和發(fā)電廠(chǎng)動(dòng)力系統。上述壓力傳感器產(chǎn)品均經(jīng)過(guò)嚴格的測試檢驗,以保證高溫環(huán)境的測量精度和產(chǎn)品可靠性。

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