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射頻體聲波濾波器（BAW）芯片廣泛應用于移動(dòng)通信、藍牙、WiFi等無(wú)線(xiàn)通信領(lǐng)域，當前的射頻聲學(xué)濾波器市場(chǎng)規模約為150億美元，隨著(zhù)5G的推廣應用，其年復合增長(cháng)率將超過(guò)30%，預計2024年將達到180億美元。我國是智能手機制造大國，BAW濾波器芯片作為半導體領(lǐng)域的高端核心產(chǎn)品，在手機產(chǎn)業(yè)鏈具有舉足輕重的地位。BAW濾波器也是科技日報明確的50項卡脖子技術(shù)第6項技術(shù)，該市場(chǎng)長(cháng)期被美國和日本企業(yè)壟斷。

圖1 浙江大學(xué)科創(chuàng )中心射頻MEMS芯片項目組開(kāi)發(fā)的BAW濾波器晶圓實(shí)物圖

近日，浙江大學(xué)杭州國際科創(chuàng )中心、射頻電路與系統教育部重點(diǎn)實(shí)驗室聯(lián)合宣布，基于雙方聯(lián)合團隊自主開(kāi)發(fā)的BAW濾波器技術(shù)體系，成功研發(fā)出兩款5G通信用的BAW濾波器芯片（N42頻段和N79頻段），并在通用半導體生產(chǎn)線(xiàn)上實(shí)現量產(chǎn)。這兩款BAW濾波器性能指標明顯優(yōu)于國際最新的同類(lèi)產(chǎn)品指標，處于國際領(lǐng)先水平，特別是N42頻段的BAW濾波器芯片帶內最小插損達到1.1dB，帶外抑制大于30dB；N79頻段的BAW濾波器芯片帶內最小插損達到1.07dB，且帶內損耗均低于2dB，帶外損耗大于28dB。此兩款BAW濾波器芯片可用于5G通信移動(dòng)終端、5G小基站等場(chǎng)景。同時(shí)，其功率容量也滿(mǎn)足5W基站需求。上述芯片已經(jīng)通過(guò)某移動(dòng)通信公司測試評估認可，并進(jìn)入準入測試認證階段。

圖2 N42頻段的BAW濾波器芯片測試結果

圖3 N79頻段的BAW濾波器芯片測試結果

未來(lái)，上述聯(lián)合團隊將繼續致力于開(kāi)發(fā)滿(mǎn)足更多無(wú)線(xiàn)通信應用需求的BAW濾波器芯片，實(shí)現更高性能、高頻段、大帶寬、大功率，助力國產(chǎn)濾波器產(chǎn)業(yè)發(fā)展及壯大。