為滿(mǎn)足您的晶圓映射需求,巴魯夫提供高精度光電傳感器,可完美集成到末端執行器內。我們的映射傳感器經(jīng)過(guò)專(zhuān)門(mén)設計,適合極薄的末端執行器,傳感器的光斑均勻且受控性和聚光性極好,因此,該傳感器可識別甚至只有幾微米厚度的晶圓,精度極高。該傳感器能可靠識別整個(gè)卡槽,重疊的晶圓或歪斜的晶圓能始終得到識別。
映射傳感器基于光電Micromote技術(shù),它將一個(gè)極小的光學(xué)傳感器頭與外部處理單元(放大器)組合到一起,兩者通過(guò)高柔性電纜連接。這意味著(zhù)您可以將傳感器應用于任何機械安裝方式,與其他Micromote傳感器一樣。
特點(diǎn)
● 傳感器電纜非常緊湊、柔韌性高
● 多功能傳感器頭
● 使用BAE外部放大器,靈活性好,適用于各種應用