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博思發(fā)科技（Posifa Technologies）近日宣布推出新款PVC4100系列全校準MEMS皮拉尼（Pirani）真空傳感器。這款解決方案由表面貼裝MEMS皮拉尼傳感器和基于微控制器的測量電路組成，面向高成本效益的OEM集成而設計，所有元件都封裝在一個(gè)具有連接器端接線(xiàn)束的超小型PCB板上。

PVC4100傳感器元件基于Posifa的第二代MEMS熱導率芯片，其工作原理為：真空度越高，氣體的熱導率越差，熱導率傳感器的熱損失越少?；谖⒖刂破鞯姆糯箅娐穼鞲衅餍酒奈⑿⌒盘柗糯?，再進(jìn)行數字化，然后通過(guò)I2C接口對外輸出。為了補償由于環(huán)境溫度變化引起的熱導率變化，該器件具有溫度補償算法，從內置的溫度傳感器獲得溫度數據后，進(jìn)行溫度補償，修正環(huán)境溫度對傳感器的干擾。

這款最新發(fā)布的PVC4100傳感器非常適合在主真空泵維持的封閉系統中進(jìn)行數字真空測量和泄漏檢測，例如在真空絕熱板中，以及數字真空計。對于這些應用，該傳感器結合了低功耗和250毫秒的極快響應時(shí)間，以及從0.013 Pa到101 kPa寬泛的有效范圍，從1毫托到200,000毫托的精度為15%。